伺服精密行星减速机的结构是由一个内齿环紧密结合於齿箱壳体上，环齿中心有一个来自外部的动力所驱动的太阳齿轮，介於两者之间有一组由三颗齿轮等分组合於托盘上之行星齿轮组，这组行星齿轮是依靠着出力轴、内齿环以及太阳齿轮来支撑浮游於期间；当外侧的动力驱动太阳齿轮时，可以带动行星齿轮自转，并依循着内齿环的轨迹沿着中心公转，行星的旋转带动连结于托盘的出力轴输出动力。

 

伺服精密行星减速机上下壳体结合面的密封是减速机主要的静密封点，结合面的光洁度及螺栓的紧固直接关系到结合面是否泄漏。由于密封点两侧的压力差，飞溅的润滑油经轴承后无法及时流回行星减速机的下壳体，都集中在轴承与端盖之间，经轴面及端盖槽向外泄漏。所以油不能及时回流下壳体和端盖的密封不严是造成动密封点泄漏的原因，又由于此处轴处于转动状态，使之成为难以解决的泄漏点。